光学增透膜（光学仪器上的增透膜）

中科院光电技术研究所薄膜光学技术研究实验室在微透镜增透膜系统设计方面取得进展：通过考虑光入射角度和微透镜上膜厚分布，设计了微透镜增透膜系统。对增透膜系统进行全面优化，实现微透镜增透膜系统设计。镜头光学性能显着提升。

微透镜是精密光学系统中常用的光学元件之一。通常，为了优化光通量和成像质量，需要在其表面涂覆减反射涂层。然而，由于微透镜特殊的形状和尺寸，在微透镜上制备光学性能一致性良好的减反射涂层极具挑战性。增透膜系统的设计决定了微透镜的光学性能。为了优化微透镜减反射镀膜系统的设计，需要充分考虑光的入射角度和微透镜上的膜厚分布。现有商业软件在进行增透膜系统设计时只能考虑光的入射角，而无法考虑膜层的厚度分布。因此，无法实现微透镜增透膜系统的优化设计。

以通光孔径为10mm、曲率半径为10mm的凸透镜为例，要求设计出在480-720nm波段范围内光学性能一致性良好、透过率优于99.6%的增透膜。对于平行光束照射，凸透镜上的光入射角分布范围为0-30；真空镀膜过程中微透镜上沉积的膜层厚度均匀度约为86.2%。在研究中，光电研究所比较了三种薄膜系统设计方法，分别是：D1，不考虑微透镜上的光入射角度和薄膜厚度分布；D1，不考虑微透镜上的光入射角度和薄膜厚度分布；D2，只考虑入射角分布，不考虑膜厚分布。上述两种设计方法可以通过现有的商业软件来实现；D3考虑了微透镜上的光入射角和膜厚度分布。基于这三种设计方法，得到了微透镜上不同矢状高度下480nm-720nm波段的剩余反射光谱，如下图所示。对应D1、D2和D3设计，微透镜上透过率优于99.6%的区域占总通光孔径的比例分别为23%、43.6%和100%。这一结果充分证明了光电设计方法的优越性。相关成果发表在《Chin》上。选择。莱特。