x射线显微镜消除色差的方法有哪些（x射线显微镜消除色差的方法是）

在光谱成像应用中，X射线显微镜通常与全场成像技术相结合，使我们能够分析并同时可视化材料的化学结构。然而，这些显微镜的性能常常受到色差问题、限制所获取的材料结构图像的精细度或分辨率的光学效应的阻碍，并且先前针对该问题的解决方案通常被证明难以制造和实施。因此，由大阪大学研究人员领导的合作团队开发了一种用于全视场X射线显微镜的光学系统，为克服色差问题提供了更实用的方法。

使用XAFS成像技术进行元素映射。观察到锌和钨颗粒。比例尺：2m

大阪大学工程研究生院助理教授SatoshiMatsuyama表示：“我们开发了一种基于两个单片成像镜的光学系统。”“这些镜子在单个基板上具有椭圆形和双曲线形状，并且固定椭圆形和双曲线之间的相对位置可提供持久且稳定的高图像质量。”制造这个复杂的透镜系统意味着现有的制造工艺需要修改，但他们提出的透镜结构需要1nm左右的形状精度。

使用专门开发的对准系统组装透镜结构后，将其用于Spring-8同步辐射设施的全视场X射线显微镜系统的性能测试。大阪大学超精密科学技术教授表示：“通过使用名为‘西门子之星’的精细测试模式和约10keV的光子能量，测试了显微镜的空间分辨率、色差的存在及其长期稳定性。”中心的山内一人解释道。“我们能够在20小时内清晰地解析尺寸小至50纳米的特征，并且稳定性高且没有任何色差。”

随后将开发的系统应用于X射线吸收精细结构光谱显微镜实验，成功识别了微米级锌和钨样品中的元素和化学状态。对该系统将进行进一步的研究，以将其性能提高到理论极限，并且它在许多应用中显示出了潜力，包括使用高强度X射线和高分辨率全视场X射线荧光成像的超快成像。该透镜结构还可以用于其他系统，例如同步加速器辐射X射线和X射线自由电子激光器的聚焦和成像光学器件。